沈陽檢測(cè)簡(jiǎn)述什么是鎢燈絲掃描電鏡？

鎢燈絲掃描電鏡就是SEM掃描電鏡

SEM電子槍用于產(chǎn)生電子，主要有兩大類，共三種。 一類是利用場(chǎng)致發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子，稱為場(chǎng)致發(fā)射電子槍。這種電子槍極其昂貴，在十萬美元以上，且需要小于10-10torr的極高真空。但它具有至少1000小時(shí)以上的壽命，且不需要電磁透鏡系統(tǒng)。 另一類則是利用熱發(fā)射效應(yīng)產(chǎn)生電子，有鎢槍和六硼化鑭槍兩種。鎢槍壽命在30～100小時(shí)之間，價(jià)格便宜，但成象不如其他兩種明亮，常作為廉價(jià)或標(biāo)準(zhǔn)SEM配置。六硼化鑭槍壽命介于場(chǎng)致發(fā)射電子槍與鎢槍之間，為200～1000小時(shí)，價(jià)格約為鎢槍的十倍，圖像比鎢槍明亮5～10倍，需要略高于鎢槍的真空，一般在10-7torr以上；但比鎢槍容易產(chǎn)生過度飽和和熱激發(fā)問題。就是鎢燈絲掃描電子顯微鏡。

鎢燈絲屬于熱發(fā)射，在燈絲電極加直流電壓，鎢絲發(fā)熱，使用溫度一般在2600K~2800K之間，鎢絲有很高的電子發(fā)射效率，溫度越高電流密度越大，理想情況下的的電子槍亮度越高。由于材料的蒸發(fā)速度隨溫度升高而急劇上升，因此鎢燈絲的壽命比較短，一般在50~200小時(shí)之間，這個(gè)和設(shè)定的燈絲溫度有關(guān)。由于電子發(fā)射溫度高，發(fā)射的電子能量分散度大，一般2ev， 電子槍引起的色差會(huì)比較大。

場(chǎng)發(fā)射電子槍主要的發(fā)射機(jī)制不是靠加熱陰極，而是在尖陰極表面增加強(qiáng)電場(chǎng)，從而降低陰極材料的表面勢(shì)壘，并且可以使得表面勢(shì)壘寬度變窄到納米尺度，從而出現(xiàn)量子隧道效應(yīng)，在常溫甚至在低溫下，大量低能電子通過隧道發(fā)射到真空中，由于陰極材料溫度低，一般材料不會(huì)損失，因此壽命很長(zhǎng)，可使用上萬小時(shí)。